產(chǎn)品詳情
在應(yīng)用脈沖功能時(shí)，脈沖參數(shù)的合理選擇至關(guān)重要，因?yàn)樗苯佑绊懙藉儗咏饘俚慕Y(jié)晶度、沉積速度、厚度分布、雜質(zhì)含量等。
關(guān)于脈沖參數(shù)，在平均電流恒定的情況下，一般隨著占空比的減小，沉積層晶粒尺寸變小，雜質(zhì)（不含離子雜質(zhì)）含量降低，但設(shè)備輸出的最大平均電流減小，設(shè)備利用率降低。例如：峰值電流30A的脈沖電源，使用20%占空比較使用30%占空比結(jié)晶細(xì)致，但使用20%占空比最大平均電流約6A,而使用30%占空比最大平均電流為9A。
綜合比較占空比對(duì)電沉積的影響，脈沖占空比一般選擇10-30%較為合適。關(guān)于脈沖頻率，應(yīng)用中選擇1000Hz左右的較多。
HNZM系列脈沖電源技術(shù)參數(shù)
1.輸出電流:0-最大輸出電流可調(diào)，可輸出正、負(fù)向電流，電流精度:1‰
2.最大輸出電壓:0-最大輸出電壓
3.輸出模式:穩(wěn)流模式
4.輸出頻率:1-10000Hz
5.輸出波形:軟件編輯任意波形
6.記錄功能:波形顯示、數(shù)據(jù)記錄，可顯示記錄輸出電壓及輸出電流波形。
7.波形編輯:一個(gè)周期可編輯最多可編輯4024個(gè)點(diǎn)
