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移動型氦質(zhì)譜檢漏儀 ASM 390, ASM 392
上海伯東代理德國普發(fā) Pfeiffer 移動型氦質(zhì)譜檢漏儀 ASM 390, ASM 392 全新上市！ASM 39X 系列是針對大型檢漏部件設(shè)計研發(fā), 檢漏儀配有干式非接觸式前級真空泵和渦輪分子泵, 檢漏儀 ASM 392 內(nèi)置2臺渦輪分子泵, 可以加速檢漏流程, 降低生產(chǎn)設(shè)備的停機(jī)時間, ASM 390, ASM 392 對氦氣的快速抽空能力和較短的響應(yīng)時間使其成為同類型檢漏儀中的佼佼者！
移動型氦質(zhì)譜檢漏儀 ASM 390, ASM 392 優(yōu)勢:
1. 強(qiáng)大的抽空能力
2. 極短的測試時間,
3. 大尺寸彩色觸摸屏, 無需任何工具即可完全旋轉(zhuǎn)和拆卸
4. 符合人體工學(xué)設(shè)計, 移動性強(qiáng)
5. 通過 CE 認(rèn)證, ETL 認(rèn)證, UL61010 合規(guī), 完全符合 Semi S2 標(biāo)準(zhǔn)
上海伯東 Pfeiffer 移動型氦質(zhì)譜檢漏儀 ASM 390, ASM 392 與 ASM 380 技術(shù)參數(shù)對比:
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?型號 |
ASM 390 |
ASM 392 |
ASM 380 已停產(chǎn) |
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?檢測氣體 |
4He, 3He, H2 |
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?最小檢測漏率 |
真空模式: 1X10-12 mbar l/s |
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?對氦氣的抽速 |
10 l/s |
25 l/s, 內(nèi)置2臺分子泵 |
7 l/s |
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?前級泵抽速 |
35 m3/h |
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?進(jìn)氣口大壓力 |
20 mbar |
20 mbar |
15 mbar |
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?無校準(zhǔn)的啟動時間(20°C) |
2 min |
2 min |
< 4.5 min |
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?進(jìn)氣口 |
DN 40 ISO-KF |
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?響應(yīng)時間 |
< 1 s |
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?Interface, ?選配 |
RS-232, I/O, Ethernet |
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?噪音 |
≤ 55 dB (A) |
≤ 55 dB (A) |
53 dB (A) |
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?重量 |
125 kg |
130 kg |
110 kg |
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?尺寸(LxWxH) |
1072 x 455 x 1025 mm |
1072 x 455 x 1025 mm |
1065 X 455 X 1025 mm |
移動型氦質(zhì)譜檢漏儀 ASM 390 可用于半導(dǎo)體相關(guān)行業(yè)和平板顯示器行業(yè)以及其他要求極高的應(yīng)用
上海伯東主營產(chǎn)品：德國普發(fā) Pfeiffer 渦輪分子泵，干式真空泵，羅茨真空泵，旋片真空泵；應(yīng)用于各種真空環(huán)境下的真空計，氦質(zhì)譜檢漏儀，質(zhì)譜分析儀以及美國考夫曼公司 KRI 離子源 離子槍 霍爾源，美國 HVA 真空閥門，Polycold 冷凍機(jī)，離子刻蝕機(jī)，Europlasma等離子納米涂層設(shè)備等。
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