產(chǎn)品詳情
日本taiko大晃機械螺桿干式真空泵RMC系列
產(chǎn)品詳細信息:
日本大晃機械taiko螺桿式干式真空泵,是采用獨自的螺桿形狀的干式真空泵,實現(xiàn)了全球螺桿泵的最低轉(zhuǎn)速,棟吸氣到排氣采用非接觸單段壓縮,其特點是可以高效地排除空氣或煤氣中所含有的粉塵霧粒,廣泛用于半導體,液晶,太陽能電池,醫(yī)藥,化工等真空行業(yè)。
主要用途:
半導體制造工程
FPD制造工程
太陽能電池制造工程
產(chǎn)品規(guī)格如下:
TD 螺桿干式真空泵 650 to 3000 to 0.7
定序器控制型
RMC 機械式助力器 3500 to 20000 to 0.1
BEH 螺桿干式真空泵 7000 to 30000 to 0.08
TRIC 螺桿干式真空泵 30000 to 60000 to 0.08
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