產(chǎn)品詳情
SPS旋涂儀POLOS SPIN150x 2024新上市
POLOS 旋涂機
我們的POLOS®單晶圓旋涂布機有NPP或PTFE兩種材質(zhì)。這些高質(zhì)量的旋涂機專為MEMS、半導(dǎo)體、
生命科學(xué)、光伏、微流控等領(lǐng)域的研發(fā)和小批量生產(chǎn)而設(shè)計。適用于所有典型的旋轉(zhuǎn)工藝：
清潔、漂洗/干燥、涂層、顯影、玻璃滑動和蝕刻。
POLOS® SPIN150x 是一種多功能、高質(zhì)量的基底旋涂機，由 NPP 制成。它專為研發(fā)和小批量生產(chǎn)而設(shè)計。
臺式型號可手動或自動（可選）分配化學(xué)品。
腔體規(guī)格
外殼材質(zhì) 天然聚丙烯（NPP）
最大底物直徑 最大可用 6” (150 mm) 晶圓
最大可用 4” x 4” (100 mm) 底物
適用范圍
? 涂層
? 清洗沖洗/烘干
? 顯影
? 刻蝕
? PDMI
? 其他程序
硬件規(guī)格：
?液體過濾疏水閥
? 外殼和排水管設(shè)計，可切換桌面和Indeck模式用于注射器或噴嘴的中心注射支架
? 蓋鎖和真空傳感器確保用戶安全
? 大尺寸觸摸顯示屏（可拆卸）
? USB 端口，用于在 USB 驅(qū)動器上存儲配方和進(jìn)行軟件更新
驅(qū)動裝置規(guī)格：
? 間接無刷驅(qū)動裝置
? 轉(zhuǎn)速高達(dá) 12.000 RPM（取決于底物/卡盤）
? 高加速度、高精度
? 加速/減速 1-30.000 RPM
? 順時針、逆時針旋轉(zhuǎn)和漩渦選項
SPS旋涂儀POLOS SPIN150x 2024新上市
