產(chǎn)品詳情
產(chǎn)品特點(diǎn)：
將電源控制器與分子泵一體化
■省電設(shè)計(jì)
■輕巧設(shè)計(jì)
■對(duì)應(yīng)防護(hù)等級(jí)IP54
■多種通信接口
■對(duì)應(yīng)國(guó)際規(guī)格 CE/NRTL/SEMI-S2
使用場(chǎng)合：
?半導(dǎo)體制造設(shè)備
?FPD制造設(shè)備
?太陽(yáng)能電池制造設(shè)備
?玻璃/鏡片等光學(xué)元件加工
?薄膜加工
?加速器/宇宙環(huán)境模擬設(shè)備
技術(shù)參數(shù)：
| 型號(hào)※1 | TGkine1700M | TGkine2200M | |
| 吸氣口法蘭 |
ISO-B200 VG200 |
ISO-B250 VG250 |
|
| 排氣口法蘭※2 | KF40/KF50 | ||
| 排氣速度 | N2 (L/s) | 1650 | 2200 |
|
N2 (附加金屬保護(hù)網(wǎng))(L/s) |
1570 | 2100 | |
| H2 (L/s) | 1550 | 1800 | |
| 最大氣體流量※3、※4 | N2 (sccm) | 4400 | 5000 |
| Ar (sccm) | 2600 | ||
| 最大壓縮比 | N2 | >2×108 | |
| H2 | 3×103 | ||
| 極限壓力※5 | (Pa） | <2×10-7 | |
| (Torr） | <1.5×10-9 | ||
| 最大排氣口壓力※6 | (Pa) | 220 | |
| (Torr） | 1.65 | ||
| 啟動(dòng)時(shí)間 | (min) | ≦10 | |
| 停止時(shí)間 | (min) | ≦10 | |
| 輸入電壓 | (V) | AC200-240V | |
| 相數(shù) | 単相 | ||
| 頻率 | (Hz) | 50/60 | |
| 電流 | (A) | Max. 5.3 | |
| 所需電力 | (kVA) | Max. 0.9 | |
| 重量 | (kg） | 65 | 62 |
