雅馬拓YAMATO等離子清洗機(jī)等離子表面處理儀高壓干式清洗機(jī)

數(shù)量(臺(tái)) 價(jià)格
300 10.00元/臺(tái)
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  • 發(fā)貨地址： 廣東 廣州市
  • 發(fā)布日期：2023-11-17
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第2年

廣州金程科學(xué)儀器有限公司

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  • 所在地區(qū)：廣東 廣州市
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詳細(xì)參數(shù)
品牌雅馬拓YAMATO型號(hào)V1000/V1000X/V1000XS
類型等離子清洗機(jī)用途工業(yè)用
加工定制否清洗方式高壓氣流
動(dòng)力13.56MHz電源13.56MHz
功率Max1000,1500W外形尺寸詳見(jiàn)參數(shù)
原理其他工作頻率等離子模式
工作電壓13.56MHz規(guī)格DP/RIE
輸出功率Max1000,1500W外形尺寸詳見(jiàn)參數(shù)
重量100kg產(chǎn)地重慶

產(chǎn)品詳情

廣州金程科學(xué)儀器公司供應(yīng)的雅馬拓YAMATO等離子清洗機(jī)V1000/V1000X/V1000XS，13.56MHz高頻輸出的等離子清洗機(jī)，搭載RIE·DP 雙模式。硅晶圓的灰化及蝕刻、基板表面污垢處理、IC/LED封裝、BGA/CSP基板處理、半導(dǎo)體相關(guān)部品的電子材料的干式清洗、自然氧化膜·有機(jī)物去除、界面活性處理、表面污染物去除。

 

等離子清洗機(jī)特點(diǎn)：

硅晶圓的灰化及蝕刻。

 

基板表面污垢處理。

 

IC/LED封裝、BGA/CSP基板處理。

 

半導(dǎo)體相關(guān)部品的電子材料的干式清洗。

 

自然氧化膜·有機(jī)物去除。

 

界面活性處理。

 

表面污染物去除。

 

等離子清洗機(jī)技術(shù)參數(shù)：

型號(hào)

V1000

V1000X

V1000XS

等離子模式

DP/RIE

高頻電源

13.56MHz

輸出功率

Max1000W

Max1000&1500W

有效電極尺寸

W280xD280mm

W300xD300mm

W400xD375mm

電極

平行平板

2段電極（獨(dú)立）

平板（多目的）

反應(yīng)氣體

聚合控制器2系統(tǒng)（填充氣路另行安裝）

真空泵（標(biāo)配）

約1000L/min

約1500L/min

1000&1500L/min

安全裝置

門(mén)檢測(cè)開(kāi)關(guān)、連鎖機(jī)構(gòu)、緊急停止開(kāi)關(guān)、溫度過(guò)升防止器等

 

 

雅馬拓YAMATO等離子清洗機(jī)V1000/V1000X/V1000XS信息由廣州金程科學(xué)儀器有限公司為您提供，如您想了解更多關(guān)于等離子清洗機(jī)的信息，歡迎來(lái)電咨詢。

 

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