產(chǎn)品詳情
OTFC-1550光馳機
日本電子16F雙槍，23寸光馳RF離子源
275機械泵+愛德華配套羅茨泵
HOM2R-VIS350A光學膜厚監(jiān)控儀
XTC/3+6點式水晶傳感器
出廠年份：2015年8月
日本光馳OTFC-1550鍍膜機：主要用于量產(chǎn)高精度的帶通濾光片產(chǎn)品，包括生物醫(yī)療、熒光檢測及天文觀測用的濾光片，可以使產(chǎn)品的光學性能及穩(wěn)定性進一步得到保障，滿足生物療領域熒光濾光片對于高對比度、高信噪比、暗黑背景的要求。
OTFC-1550鍍膜機的基本配置是：搭載了10KV雙電子槍，750W的RF射頻離子源，光學膜厚監(jiān)控裝置（Optorun制，HOM2-R-VIS350A），低溫冷凝器（Polycold），油旋轉機械泵 （Edwards E2M275）羅茨機械泵（Edwards EH1200）；多點和環(huán)型坩堝可鍍200層以上，膜厚可達20000nm之多。這就意味著單片鍍膜就可以達到截止深度OD5以上，不用再為了達到高OD值而再做兩片膠合了。從而大大提升了濾光片的成像質量以及產(chǎn)品合格率。
下面介紹其中兩個特點：
1.光學膜厚測量控制：
OTFC-1550鍍膜機是利用自動蒸鍍控制系統(tǒng)實現(xiàn)全自動蒸鍍過程，這就使生產(chǎn)效率得以顯著提高。光學膜厚監(jiān)控技術已經(jīng)成為當今光學薄膜成膜自動化的核心技術。可以對薄膜的厚度進行無損的、實時的測量，并在達到所需厚度時能及時給出控制信號。這就意味著鍍膜更精準，公差更小，可以做到±0.1nm。
2. RF射頻離子源：
（1）加工精度高，便于控制。離子束可以通過離子光學系統(tǒng)進行聚焦掃描，可以控制尺寸范圍。高離子電流密度和均勻分布，照射面積能達到Ф1150mm以上。
（2）同使用燈絲型的離子源比較，它的壽命長，污染少。
（3）加工應力、變形極小。離子束加工工藝是一種原子級或分子級的微細加工，作為一種微觀作用，其宏觀壓力很小，適合于各種材料和低剛度工件的加工，而且加工表面質量高。
（4） 動作安定性高，能長時間運轉。
3.鍍膜機明細參數(shù)：
真空室SUS304,Ф1300mm×1500mm(H)基板架4片式工作架（或Ф1200 mm）基板架轉速30rpm(可調)晶振式膜厚計XTC/3+6點式水晶傳感器蒸發(fā)源電子槍1臺性能極限真空7.0×10-5Pa以下抽氣速度10分（大氣壓～3.0×10-3Pa）基板加熱溫度350℃安裝要求安裝空間約4500mm(W)×6000mm(D)×3200mm(H)電力3相，200V，50/60Hz，約80KVA水流量100升/分以上壓縮空氣壓力0.5-0.7MPa重量約5000kg
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